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新型傳感技術(shù)及應(yīng)用(第4版)
傳感器在當(dāng)代科學(xué)技術(shù)中占有十分重要的地位,所有以計(jì)算機(jī)為基礎(chǔ)的自動化、智能化系統(tǒng),都需要傳感器提供賴以做出實(shí)時(shí)決策的數(shù)據(jù)。近年來,作為信息獲取的傳感器技術(shù)的發(fā)展非常迅速。由于傳感器技術(shù)自身的復(fù)雜性、綜合性以及應(yīng)用的個(gè)性化,使得經(jīng)典原理的傳感器的生命周期遠(yuǎn)遠(yuǎn)長于信息技術(shù)中傳輸與處理,非常明顯的發(fā)展趨勢是:沿用傳統(tǒng)的作用原理和某些新效應(yīng),優(yōu)先使用晶體材料,采用微機(jī)械加工工藝和微電子技術(shù),從傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)向微機(jī)械加工工藝的微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),研制各種新型傳感器及傳感器系統(tǒng),以滿足體積、質(zhì)量、功耗及動、靜態(tài)特性等方面的要求。
本教材簡要介紹了新型傳感技術(shù)的發(fā)展趨勢、傳感器的特性及其評估、傳感器技術(shù)中采用的先進(jìn)材料、以硅材料為重點(diǎn)的先進(jìn)制造技術(shù)、傳感器敏感結(jié)構(gòu)的建模和模擬計(jì)算方法;介紹多類具有代表性的傳感器的測量原理及應(yīng)用:熱電式傳感器、應(yīng)變式傳感器、壓阻式傳感器、電容式傳感器、電磁式傳感器、壓電式傳感器、薄膜式傳感器、諧振式傳感器、聲表面波傳感器等。
本教材在每一章都給出一些應(yīng)用實(shí)例及分析,并配有豐富的思考題與習(xí)題。
本教材可作為測控技術(shù)與儀器、電氣工程及其自動化、自動化、機(jī)械工程及自動化、過程裝備與控制工程、探測制導(dǎo)與控制技術(shù)等專業(yè)本科生的教材,也可作為儀器科學(xué)與技術(shù)、控制科學(xué)與工程、機(jī)械工程等學(xué)科研究生的教材,也可供有關(guān)的工程技術(shù)人員參考。
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