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變壓器局部放電內(nèi)置式聲電聯(lián)合檢測 本書闡述了變壓器內(nèi)置式超聲波局部放電(partial discharge, PD)的光纖非本征型法布里-珀羅干涉儀(extrinsicopticalfiberFabry- Perotinterferometer,EFPI)傳感耦合技術和基于微機電系統(tǒng)(micro- electro-mechanical systems,MEMS)敏感結構膜片的優(yōu)化設計、絕緣體上硅(silicon-On-insulator, SOI)片制造工藝、法珀腔組裝與探頭封裝技術,以及基于油閥特高頻傳感器的一體化設計、試驗及工程應用。
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