第1章 緒論 1 1.1 防護(hù)原則 2 1.2 控制靜電源 3 1.3 切斷耦合路徑 4 1.4 防靜電工程 4 參考文獻(xiàn) 5 第2章 靜電接地 6 2.1 地 7 2.1.1 地的概念 7 2.1.2 接地 8 2.1.3 接地的分類(lèi) 8 2.2 接地體 9 2.2.1 自然接地體與人工接地體 10 2.2.2 共用接地系統(tǒng) 13 2.3 接地線 14 2.3.1 TN系統(tǒng)的安全原理及類(lèi)別 15 2.3.2 保護(hù)接零的應(yīng)用范圍 16 2.3.3 靜電接地點(diǎn) 18 2.3.4 地線接法與線徑 20 2.4 接地電阻 23 2.4.1 接地電阻的概念 23 2.4.2 電位降法測(cè)量原理 24 2.4.3 影響接地電阻測(cè)量的因素 28 參考文獻(xiàn) 28 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn) 29 第3章 防靜電地面 30 3.1 防靜電資質(zhì)地板 31 3.1.1 概述 31 3.1.2 技術(shù)要求 33 3.1.3 施工與驗(yàn)收 41 3.2 防靜電PVC貼面 44 3.2.1 技術(shù)要求 45 3.2.2 施工與驗(yàn)收 47 3.3 防靜電環(huán)/率自流地坪 51 3.3.1 概述 51 3.3.2 技術(shù)要求 55 3.3.3 施工 58 3.4 防靜電三聚氰胺貼面 62 3.4.1 技術(shù)要求 62 3.4.2 施工 66 3.5 防靜電水磨石 66 3.5.1 技術(shù)要求JCT 507 66 3.5.2 施工 70 3.6 防靜電活動(dòng)地板 72 3.6.1 概述 72 3.6.2 技術(shù)要求 75 3.6.3 施工 82 3.7 防靜電電阻檢測(cè) 87 3.7.1 表面電阻與體積電阻 87 3.7.2 點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻與點(diǎn)對(duì)地電阻 90 3.7.3 影響因素 91 3.7.4 測(cè)試儀表 93 3.8 靜電地面工程驗(yàn)收 94 參考文獻(xiàn) 95 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn) 95 第4章 防靜電工作臺(tái) 98 4.1 結(jié)構(gòu)組成 99 4.2 技術(shù)要求 100 4.2.1 主要尺寸 100 4.2.2 外形尺寸偏差及形狀位置公差 102 4.2.3 外觀質(zhì)量 103 4.2.4 用料要求 104 4.2.5 有害物質(zhì)含量 104 4.2.6 安全性要求 104 4.2.7 阻燃性 105 4.2.8 臺(tái)面理化性能 106 4.2.9 表面理化性能 107 4.2.10 力學(xué)性能 109 4.3 安裝 112 4.3.1 單個(gè)工作臺(tái)的連接 113 4.3.2 單個(gè)工作臺(tái)配置的連接 114 4.3.3 多個(gè)工作臺(tái)的連接 115 4.3.4 單個(gè)工作臺(tái)及配置接輔助地的連接方式 116 4.3.5 防靜電貨架的連接方式 116 4.4 防靜電性能檢測(cè) 118 4.4.1 電阻檢測(cè) 118 4.4.2 殘余電壓與衰減時(shí)間 121 4.5 可移動(dòng)式設(shè)備 123 4.5.1 防靜電工作椅 123 4.5.2 儲(chǔ)物架與手推車(chē) 124 4.5.3 工作椅的檢測(cè) 125 4.5.4 小推車(chē)的檢測(cè) 127 參考文獻(xiàn) 127 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn) 127 第5章 防靜電服 129 5.1 基本要求 130 5.1.1 基本要求 130 5.1.2 釋放機(jī)理 131 5.1.3 穿著要求 132 5.2 技術(shù)要求 133 5.2.1 面料 134 5.2.2 服裝 136 5.2.3 潔凈要求 138 5.2.4 檢驗(yàn)規(guī)則 139 5.3 電阻測(cè)試 140 5.3.1 質(zhì)量檢驗(yàn) 140 5.3.2 入廠驗(yàn)收 147 5.3.3 周期檢測(cè) 147 5.3.4 現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè) 149 參考文獻(xiàn) 150 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn) 150 第6章 防靜電鞋 152 6.1 技術(shù)要求 153 6.1.1 一般要求 153 6.1.2 基本測(cè)試項(xiàng)目 155 6.1.3 技術(shù)要求與檢測(cè)方法 157 6.2 電阻測(cè)試 160 6.2.1 試驗(yàn)室測(cè)試 161 6.2.2 現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè) 162 6.3 行走電壓測(cè)試 163 6.3.1 地板—鞋束系統(tǒng)的電阻選樣 164 6.3.2 人體靜電電壓的測(cè)試 166 6.3.3 結(jié)論 168 參考文獻(xiàn) 169 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn) 169 第7章 防靜電腕帶 171 7.1 基本要求 172 7.2 測(cè)試方法 174 7.2.1 實(shí)驗(yàn)室檢測(cè) 174 7.2.2 現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè) 175 7.3 腕帶監(jiān)控系統(tǒng) 176 7.3.1 電容（單線）式 177 7.3.2 電阻（單線）式 178 7.3.3 電阻（雙線）式 178 7.3.4 電壓式 179 7.3.5 注意事項(xiàng) 180 參考文獻(xiàn) 181 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn) 181 第8章 防靜電手套 183 8.1 技術(shù)要求 184 8.1.1 內(nèi)在質(zhì)量要求 184 8.1.2 外在質(zhì)量要求 186 8.2 電阻測(cè)試方法 189 參考文獻(xiàn) 190 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn) 191 第9章 靜電消除器 192 9.1 工作原理 193 9.1.1 空氣中的離子 193 9.1.2 空氣的衰減特性 194 9.1.3 電荷中和 195 9.1.4 放射電離 195 9.1.5 電暈電離 196 9.2 靜電消除器的分類(lèi) 196 9.2.1 無(wú)源自感應(yīng)式靜電消除器 197 9.2.2 交流高壓式靜電消除器 197 9.2.3 直流穩(wěn)壓式靜電消除器 198 9.2.4 脈沖直流式靜電消除器 199 9.2.5 靜電消除器的實(shí)物圖片 200 9.3 技術(shù)要求 201 9.4 檢測(cè)儀器 203 9.5 檢測(cè)方法 205 9.5.1 驗(yàn)收檢測(cè) 205 9.5.2 周期驗(yàn)證 209 9.6 空氣離子對(duì)人體的影響 214 參考文獻(xiàn) 214 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn) 215 第10章 防靜電設(shè)備與工具 216 10.1 基本要求 217 10.2 防靜電烙鐵 218 10.2.1 日常檢測(cè) 220 10.3 自動(dòng)化設(shè)備 223 10.3.1 安裝位置 224 10.4 防靜電鑷子 225 參考文獻(xiàn) 226 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn) 227 第11章 防靜電包材 228 11.1 材料特性 229 11.1.1 導(dǎo)體 229 11.1.2 電介質(zhì) 231 11.1.3 半導(dǎo)體 232 11.1.4 靜電工程學(xué)中的材料分類(lèi) 233 11.2 包材特性 233 11.2.1 周轉(zhuǎn)過(guò)程 233 11.2.2 分類(lèi) 234 11.2.3 技術(shù)要求 236 11.3 包裝屏蔽性能 238 11.4 防靜電包裝管 241 11.5 防靜電周轉(zhuǎn)容器 244 11.6 包裝的使用 245 參考文獻(xiàn) 247 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn) 247 第12章 濕度控制 249 12.1 濕度影響靜電的機(jī)理 250 12.1.1 吸濕作用的數(shù)學(xué)模型 250 12.1.2 高分子的水蒸氣吸附（吸濕）與導(dǎo)電 252 12.1.3 半導(dǎo)體表面的水蒸氣吸附與導(dǎo)電 252 12.1.4 小結(jié) 253 12.2 濕度控制的發(fā)展階段 254 12.2.1 EPA濕度從嚴(yán)控制的階段 254 12.2.2 放寬EPA濕度控制要求的階段 256 12.2.3 ESD濕度控制從測(cè)量抓起的階段 257 12.2.4 更新靜電防護(hù)理念 257 12.3 結(jié)論 258 12.4 濕度利用 259 參考文獻(xiàn) 260 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn) 260